Новости

undefined

Состав, структура, виды и применения мишеней для распыления.

Время выхода:

2025-01-03

1. Состав

Состав мишеней для распыления зависит от требований применения и может быть разделен на следующие категории:

Металлические мишени：одиночные металлические элементы, такие как алюминий (Al), медь (Cu), титан (Ti), золото (Au), серебро (Ag) и т.д.
Сплавные мишени：сплавы, состоящие из нескольких металлических элементов, такие как алюмосиликат (Al-Si), алюминий-медь (Al-Cu).
Керамические мишени：неметаллические соединения, такие как оксиды (Al₂O₃, ZnO), нитриды (TiN), карбиды (SiC).
Соединительные мишени：такие как сульфиды (MoS₂), силициды (NiSi₂).
Композитные мишени：композиты из различных материалов, например, композитные мишени из металлов и оксидов.

2. Структура

Внутренняя микроструктура и способ обработки мишеней для распыления имеют важное значение для их характеристик:

Плотность：мишени с высокой плотностью имеют более высокую эффективность распыления и однородность.
Размер зерен：меньшие зерна обеспечивают более высокую однородность пленки.
Однородность：однородность состава мишени определяет однородность осажденной пленки.
Чистота：высокочистые мишени уменьшают количество примесей в пленке, улучшая ее электрические и оптические характеристики.

3. Виды

В зависимости от формы и характеристик использования мишени для распыления можно разделить на:

Плоские мишени：обычно встречаются в плоских распыляющих устройствах, имеют форму прямоугольника или диска.
Ротационные мишени：используются для нанесения пленки на большие площади и эффективного производства, обычно имеют цилиндрическую форму.
Специальные формы мишеней：например, мишени нестандартной формы, соответствующие специфическим требованиям применения.

Классификация по функциям:

Проводящие мишени：например, алюминий, медь, в основном используются в электронных компонентах.
Прозрачные проводящие мишени：например, ITO (оксид индия и олова), используются в сенсорных экранах, дисплеях.
Твердые покрывающие мишени：например, TiN, CrN, используются для инструментов и форм.
Магнитные мишени：например, CoFe, NiFe, используются в магнитных запоминающих устройствах.

4. Применение

Мишени для распыления широко применяются в следующих областях:

Электроника и полупроводники

Интегральные схемы：алюминий, медь используются для проводящих слоев; титан, ниобий используются для барьерных слоев.
Запоминающие устройства：магнитные мишени используются для производства магнитных запоминающих пленок.
Дисплеи：мишени ITO используются в сенсорных экранах, OLED, LCD дисплеях.

Оптика и оптоэлектроника

Оптические пленки：например, антирефлексные пленки, пленки для увеличения пропускания, часто используются мишени SiO₂, TiO₂ и т.д.
Солнечные батареи：мишени TCO (прозрачные проводящие оксиды) используются для пленочных солнечных батарей.

Декорирование и твердые покрытия

Твердые покрытия для инструментов：например, TiN, CrN, используются для повышения износостойкости и срока службы.
Декоративные покрытия：например, металлические мишени используются для создания ярких декоративных пленок.

Энергетика и экология

Устройства хранения энергии：материалы для электродов литиевых батарей, такие как LiCoO₂, LiMn₂O₄.
Газовые датчики：например, пленочные материалы ZnO, SnO₂.

Медицина и биология

Биосовместимые покрытия：например, TiN, TiO₂, используются для поверхности медицинских имплантатов.

Направления будущего развития

Высокая чистота и высокая плотность：основная технология для улучшения характеристик пленки.
Композитные мишени：удовлетворяют потребности многофункциональных пленок.
Устойчивые материалы：разработка экологически чистых и ресурсосберегающих мишеней.
Увеличение размеров и усложнение：соответствие требованиям оборудования для нанесения пленки на большие площади и сложные формы.

Предыдущая страница:

Разница между чистой пятиосевой обработкой и обработкой 3+2 оси заключается в следующем: 1. **Чистая пятиосевая обработка**: В этом процессе инструмент может двигаться по всем пяти осям одновременно. Это позволяет обрабатывать сложные детали с высокой точностью и минимальными ограничениями на геометрию. Пятиосевая обработка особенно полезна для создания сложных форм и деталей, требующих многогранной обработки. 2. **Обработка 3+2 оси**: В этом методе инструмент работает в трех осях (X, Y, Z), но с возможностью поворота детали в двух дополнительных осях (A и B) для достижения нужного угла. Это позволяет обрабатывать детали, которые не могут быть обработаны в обычной трехосевой системе, но не обеспечивает такой же уровень гибкости и точности, как чистая пятиосевая обработка. В общем, выбор между этими двумя методами зависит от сложности детали и требований к точности обработки.

Следующая страница:

Нитрование поверхности молибденовых изделий

Связанный контент

С удачного начала работы!

2025-02-05

Применение и исследование вольфрамомолибденовых материалов в медицинских технологиях

2025-01-20

Применение и исследование вольфрамо-молибденовых материалов в аэрокосмической технологии

2025-01-17

Плазменное азотирование молибденовых изделий